罗茨真空机组除具有良好的机械性能和加工性能外，还要满足其他性能的要求，即容易除气、低的饱和蒸气压、一定的化学稳定性、一定的纯度和清洁度、合适的辐射能力等。所以罗茨真空机组具有特殊性，对清洁处理要求是极为严格的，应限度清除或减少零件的污染。
罗茨真空机组指没有特殊要求的真空工艺过程，这类罗茨真空机组对环境的要求是：凡是处于罗茨真空机组，都要求无积存的污染源，表面无尘埃，无铁屑、无锈蚀。罗茨真空机组的真空室表面要光滑、无松软组织和气孔、无内焊缝等影响真空的缺陷。罗茨真空机组中，真空室内的运动部件不得用机油作润滑剂，要用饱和蒸气压低的扩散泵油、硅油作润滑剂，法兰、观察窗的密封部件要涂以高真空油脂。罗茨真空机组一般应在温度为15～30℃，相对湿度不高于70%的清洁空气流通的环境中工作，冷却水进水温度不高于25 ℃。
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